中圖儀器SJ6000納米精度位移激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,，具有高精度,、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,。激光干涉儀具有實時性測量能力,，能夠同時測量多個位置或參數(shù)，提高測量效率,。它集光,、機,、電、計算機等技術(shù)于一體,，采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償,。

線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標,、機器人,、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備,、線性位移平臺,、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量,。

動態(tài)測量

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

動態(tài)測量應(yīng)用：

動態(tài)測量包括基于時間的動態(tài)測量和基于距離的動態(tài)測量,，SJ6000動態(tài)測量軟件可對動態(tài)測量數(shù)據(jù)進行位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅與頻率分析等,。

1.基于時間的動態(tài)測量

機器運動控制性能評價：

?運動控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置

?高速運動后機器的穩(wěn)定性測試與評價

?高性能運動控制器的微小步幅的測試

振動監(jiān)視

?掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要,，但恒速對實現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合

?機床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速,、平穩(wěn)輪廓運動的高質(zhì)量表面精加工

振動頻率分析

?被測對象的振動頻率分析

?FFT快速傅立葉變換分析

2.基于距離的動態(tài)測量

基于距離的動態(tài)測量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量，即運動軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進行數(shù)據(jù)采集,。

3.提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器,、控制器等信號,，配合SJ6000激光干涉儀，可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集,。適用于運動軸在不停頓的情況下,，觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進行數(shù)據(jù)采集。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償,。

SJ6000納米精度位移激光干涉測量儀適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng),，不僅僅局限于運動導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,，減少維護成本和停機時間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式,。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解。

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